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FULL ORDER PRODUUCT
フルオーダー機械製作
商品名・装置名
IR硬化炉
商品説明・概要
フレキソ印刷機にて塗布された基板上の配向膜、または絶縁膜をIRヒーターを上下に搭載し、焼成・硬化処理冷却バッファーを行う装置。
基盤投入時に放熱を防ぐため開閉扉がついています。
独立した多段炉なため、各段を自由に温度設定が出来ます。
主な用途先
半導体製造装置関連、FPD製造装置関連
仕 様
温度性能
室温〜350度(ガラス表面温度)
温度精度
表面温度±5度以内
方 式
マイカヒーター
ヒーター出力
AC200V/50Hz 3φ 10KVA
熱 量
10.78mj
圧縮空気
0.5Mpa 50L/min
画像ギャラリー
IR硬化炉本体 | IR硬化炉冷却バッファ | IR硬化炉IR硬化炉 |
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IR硬化炉IRヒーター | IR硬化炉マイカヒーター | IR硬化炉IR硬化炉 |
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